Здравствуйте!
Помогите, пожалуйста, найти литературу на тему "Тепловые процессы наноимпринтной литографии". Был ранее написан литобзор на тему "Нанолитография. Методы, кинетика, пределы", где была недостаточно раскрыта тема "кинетика". Было получено уточнение, что в этой теме я должна привести описание именно тепловых процессов при проведении одного из методов нанолитографии. Литература может быть на английском или русском языке.Спасибо!
Ответ:
Здравствуйте. Тема Вашего запроса требует расширенного разыскания литературы, что в рамках ВСС не представляется возможным. Предлагаем Вам следующий список литературы (источники – ЭК ГПНТБ СО РАН, ИПС Яндекс):
1.Ки Донг Ли. Технология наноструктурирования увеличивает эффективность светодиодов [Электронный ресурс] / Ки Донг Ли, Роберт Сьеден, Тарбьорн Эриксон // Время электроники : сайт. – URL: http://www.russianelectronics.ru/leader-r/review/2195/doc/54026/ (3.12.15)
2. Лапшинов Б. А. Технология литографических процессов : учеб. пособие / Б. А. Лапшинов ; Моск. ин-т электроники и математики. – М., 2011. – 95 с. ; То же [Электронный ресурс]. – URL: http://docviewer.yandex.ru/ (3.12.15)
3. A microfluidic platform with a free-standing perforated polymer membrane : научное издание / Junseo Choi [et al.] // J. Micromech. and Microeng. – 2010. – Vol. 20, N 8. – P. 85011. – Перевод заглавия : Микрожидкостная платформа, содержащая перфорированную полимерную мембрану.
Аннот.: Представлен метод термич. и УФ-наноимпринтной литографии для изготовления тонких удаляющихся МБ, содержащих перфорированные микро- и субмикропоры. МБ входят в состав модульной микрожидкостной системы, использующейся при изготовлении и изучении различных биол. объектов
4. Jiang Menglin. Прогресс термической наноимпринтной литографии полимерных материалов : научное издание / Menglin Jiang, Shiwei Lin // Gaofenzi cailiao kexue yu gongcheng. – 2013. – Vol. 29, N 4. – С. 173-177.
Аннот. : Обзор. Показаны возможности термической наноимпринтной литографии для изготовления микро/наноструктур с высокими разрешением и качеством. Проанализировано влияние структуры и свойств материалов на качество шаблонов с отпечатками. Все рабочие параметры полимерных материалов обусловлены их способностью пленкообразования, термическими, механическими, реологическими и свойствами границ раздела фаз и устойчивостью к травлению. Проанализированы направления развития литографии полимерных материалов.
5. Mekaru Harutaka. Frequency and amplitude dependences of molding accuracy in ultrasonic nanoimprint technology : науч. изд. / Harutaka Mekaru, Masaharu Takahashi // J. Micromech. and Microeng. – 2009. – Vol. 19, N 12. – P125026/1-125026/11. – Перевод заглавия : Зависимость точности формования структур ультразвуковой наноимпринтной литографией от частоты и амплитуды ультразвука.
Аннот. : Описана технология УЗ наноимпринтной литографии как новой технологии наноструктурирования. Независимо от типа формуемого материала глубина наноструктур резко изменяется, когда частота УЗ превышает 5 кГц. Глубина наноструктур увеличивается при увеличении амплитуды УЗ и снижении температуры стеклования формуемого полимера.
6. Nanoimprint lithography for functional three-dimensional patterns : научное издание / Y. Ofir [et al.] // Adv. Mater. – 2010. – Vol. 22, N 32. – P3608-3614 . – Перевод заглавия : Наноимпринтная литография для получения трехмерных функциональных образцов
Аннот.: Наноимпринтная литография является альтернативным методом фотолитографии, позволяющим формировать трехмерные микро- и наноразмерные структуры. Описано использование метода для получения активных и функциональных материалов и их использование в электромагнитных, оптич. приборах, биол. объектах и т. д.
Являясь жителем Санкт-Петербурга, за дополнительной информацией Вы можете обратиться к библиографам РНБ.
[Национальная библиотека Республики Саха (Якутия)]
